DIN 50452-2-1991 半导体工艺材料的检验.液体中颗粒分析的试验方法.第2部分:用光学粒子计数器对颗粒的测定
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时间:2024-05-19 09:01:59
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【英文标准名称】:Testingofmaterialsforsemiconductortechnology;testmethodforparticleanalysisinliquids;determinationofparticleswithopticalparticlecounters
【原文标准名称】:半导体工艺材料的检验.液体中颗粒分析的试验方法.第2部分:用光学粒子计数器对颗粒的测定
【标准号】:DIN50452-2-1991
【标准状态】:作废
【国别】:德国
【发布日期】:1991-03
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DE-DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:浓缩;试验;液体;半导体;材料;含量测定;材料试验;分析;半导体材料;半导体工艺;定义;颗粒物质的测定;粒子分析
【英文主题词】:Analysis;Concentration;Definitions;Determinationofcontent;Liquids;Materials;Materialstesting;Particleanalysis;Particulatemattermeasurement;Semiconductormaterials;Semiconductortechnology;Semiconductors;Testing
【摘要】:Thestandarddefinesthetestmethodforthedeterminationoftheconcentrationofparticlesinliquidswithopticalparticlecounters.
【中国标准分类号】:H82
【国际标准分类号】:29_045
【页数】:4P.;A4
【正文语种】:德语
【原文标准名称】:半导体工艺材料的检验.液体中颗粒分析的试验方法.第2部分:用光学粒子计数器对颗粒的测定
【标准号】:DIN50452-2-1991
【标准状态】:作废
【国别】:德国
【发布日期】:1991-03
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DE-DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:浓缩;试验;液体;半导体;材料;含量测定;材料试验;分析;半导体材料;半导体工艺;定义;颗粒物质的测定;粒子分析
【英文主题词】:Analysis;Concentration;Definitions;Determinationofcontent;Liquids;Materials;Materialstesting;Particleanalysis;Particulatemattermeasurement;Semiconductormaterials;Semiconductortechnology;Semiconductors;Testing
【摘要】:Thestandarddefinesthetestmethodforthedeterminationoftheconcentrationofparticlesinliquidswithopticalparticlecounters.
【中国标准分类号】:H82
【国际标准分类号】:29_045
【页数】:4P.;A4
【正文语种】:德语
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